光電子向け真空オーブン

真空オーブンは、高い真空化が特長の真空ポンプと正方形の真空チャンバーからなり、LED光電子や水晶発振器など光電子の製造に使用されます。従来機に比べて多くの利点があります。 ドアを閉めると正方形のチャンバー内いっぱいに真空化されます。真空度が１００Ｐａに達すると、排気速度が向上します。中央、右、正面の排気バルブにより、炉内の空気を排出します。